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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2003년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
160 - 165 (6page)

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Recently with the development of semiconductor technology, the miniaturization of parts and products as well as their high precision is required. In addition, as the national competitiveness is increasingly affected by the development of the micro parts through micro machining technology, the study of the micro machining technology is being conducted in many countries. The goal of this study is to fabricate micro tools under the size of 20㎛ and to machine micro holes using them. The fabrication is done by grinding and the application of ELID to the grinding wheel The surface roughness of the micro tools is measured to evaluate the study

목차

Abstract

1. 서론

2. 본론

3. 실험결과

4. 결론

참고문헌

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