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대한전자공학회 전자공학회논문지-IE 전자공학회논문지 TE편 제42권 제1호
발행연도
2005.3
수록면
7 - 12 (6page)

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유한요소해석 프로그램인 ANSYS를 이용하여 수정진동자의 진동 및 주파수특성을 해석하였다. 수정진동자의 직경을 고정하고 두께를 변화시키면서 주파수특성을 조사하였다. 전극박막을 금, 은, 알루미늄으로 적층하였을 경우, 금속의 종류에 따른 공진주파수를 구하였다. 그 결과 유한요소법을 이용하여 수정진동자의 최적조건을 예측할 수 있었다. 또 수정편 두께가 0.2mm 보다 작은 영역에서의 주공진주파수는 8.102 MHz이상의 고주파를 얻을 수 있는 것을 확인하였다. 전극박막으로 사용한 금속의 종류에 따른 수정진동자의 주공진주파수 변화를 조사한 결과, 금이나 은에 비해 알루미늄이 우수한 주파수특성을 나타내었다.

목차

요 약

Abstract

Ⅰ. 서 론

Ⅱ. 수치 해석

Ⅲ. 결과 및 고찰

Ⅳ. 결 론

참고문헌

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참고문헌 (7)

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