메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
곽동열 (Seoul Nat’l Univ. of Science & Technology) 조승범 (Seoul Nat’l Univ. of Science & Technology) 박익근 (Seoul Nat’l Univ. of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.24 No.5
발행연도
2015.10
수록면
475 - 480 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

초음파원자현미경을 이용한 나노스케일 박막 코팅층에 대한 탄성특성 평가
곽동열 ,  조승범 ,  박익근 한국생산제조학회지 2015.10 학술저널

2011

초음파원자현미경을 이용한 나노구조 박막의 접착 계면 특성 평가
곽동열 ,  박태성 ,  박익근 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011.04 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Ultrasonic atomic force microscopy (Ultrasonic-AFM) has been used to investigate the elastic property of the ultra-thin coating layer in a thin-film system. The modified Hertzian theory was applied to predict the contact resonance frequency through accurate theoretical analysis of the dynamic characteristics of the cantilever. We coat 200 nm thick Aluminum and Titanium thin films on the substrate using the DC Magnetron sputtering method. The amplitude and phase of the contact resonance frequency of a vibrating cantilever varies in response to the local stiffness constant. Ultrasonic-AFM images were obtained using the variations in the elastic property of the materials. The morphology of the surface was clearly observed in the Ultrasonic-AFM images, but was barely visible in the topography. This research demonstrates that Ultrasonic-AFM is a promising technique for visualizing the distribution of local stiffness in the nano-scale thin coatings.
#Ultrasonic atomic force microscopy #Nanoscale thin coatings #Elastic properties #Contact resonance frequency #Micro cantilever #Contact stiffness

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 이론적 접촉 모델
3. 실험 장치 및 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
References

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - 안효석 / 2007 / 원자력현미경의 위상차영상을 이용한 나노표면의 미소기계적 특성 평가 / 한국생산제조시스템학회지 16 (5) : 115 ~ 121 dbpia [학술지(정기간행물)] - 이주민 / 2014 / 유한요소 해석을 이용한 초음파원자현미경 캔틸레버의 접촉 공진주파수 특성 분석 / 한국생산제조학회지 23 (5) : 478 ~ 484 dbpia [학술지(정기간행물)] - 안효석 / 2009 / 나노스케일 표면돌기 간의 미세접촉에 대한 해석 / 한국생산제조시스템학회지 18 (4) : 369 ~ 374 dbpia [학술지(정기간행물)] - King, R. B. / 1987 / Elastic Analysis of Some Punch Problems for a Layered Medium / Int. J. of Solids and Structures 23 (12) : 1657 ~ 1664 google schola [학술지(정기간행물)] - Chen, X. / 2001 / Numerical Study on the Measurement of Thin Film Mechanical Properties by Means of Nanoindentation / J. of Mat. Res. 16 (10) : 2974 ~ 2982 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명 한국표면공학회지 2015 .12
저온 폐열 적용을 위한 유사 스털링 사이클에 대한 기초 실측연구
정해준 ,  김영민 ,  김원식 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2015 .11
플랜트 설계정보의 CAD 데이터형식 변환 기술
이동규 ,  이욱진 ,  남지우 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2015 .11
Newly Designed Ion Beam Etcher with High Etch Rate
Hee-Woon Cheong Journal of Magnetics 2015 .12
Evaluation of Mechanical Properties of Ceramic Coating Layers with Nano-sized Silicon Oxides on a Steel Sheet
Youl Baik ,  Bo K. Kang ,  Yong Choi 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2013 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-552-002041105