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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.6
수록면
353 - 358 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2005

디스크형 스테이터 형상에 따른 초음파 부상장치의 진동특성 해석
정상화 ,  최석봉 ,  차경래 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료
초음파 부상장치에서의 원형 스테이터 진동해석
정상화 ,  최석봉 ,  차경래 외 3명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2005.06 학술대회자료
초음파 부상장치의 디스크형 스테이터의 진동 특성 해석
정상화 ,  최석봉 ,  차경래 외 3명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2005.05 학술대회자료
원형 플레이트 형태에 따른 초음파 부상 장치의 진동특성에 관한 연구
정상화 ,  최석봉 ,  차경래 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

초록· 키워드

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In the semiconductor and optical industry the non-contact transportation is required for reducing the damages. The ultrasonic levitation is the solution of the problem. In this paper, the ultrasonic levitation system and 3 disk-type stator for levitation various object are proposed. The vibration modes of disks are analyzed with FEM and designed with the analysis results. The 3D vibration profiles the disks are measured by Laser scanning vibrometer for verifying the vibration characteristics of the system. The amplitudes of the disks and the levitation heights of object are measured for evaluating the performance.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 유한요소 해석을 이용한 플레이드 진동해석

3. 플레이트의 진동 측정

4. 정전용량형 센서에 의한 플레이트 진폭측정

5. 부상 높이 측정

6. 결론

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