Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 을 이용한 TiO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

이원규; 우성일

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저자정보: 이원규 우성일

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제4회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.2

수록면: 53 - 54 (2page)

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Won-Kyu Lee

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 24 이용수 936

우성일

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018011790

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