Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 을 이용한 TiO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

이원규 ,  우성일

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Chemical Vapor Deposition with Single Precursors

Yunsoo Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

Characterization of Low-Temperature Graphene Growth with Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Yifei Ma ,  Daekyoung Kim ,  Guoqing Xin 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구

장봉철 ,  김곤호 ,  민경호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes

Yooncheol Shin ,  Sun Jung Kim ,  Sangin Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Synthesis of Graphene by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Its transfer for Device Application

서동익 ,  한정윤 ,  김언정 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Multilayer barrier film fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

Chang-Kyu Jin ,  Do-Kyung Hwang ,  Tae-Hwan Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Pre - deposition과 Layer - by - Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구

권대진 ,  송병권 ,  남창우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Growth of carbon nanotubes on metal substrates using plasma - enhanced chemical vapor deposition

Se ,  ng-Ye ,  l Pa 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Low temperature synthesis of carbon nanotubes using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)

윤형주 ,  강호석 ,  홍진표 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Inorganic Thin Film Passivation Layer Fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Bum-Hee Lee ,  Dong-Hee Pa ,  k 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Optical properties of silicon nitride films by plasma - enhanced chemical vapor deposition

Changhun Ko ,  Chlyoung Ham ,  Heesoo Han 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  한창희 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .12

마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착

김성훈 ,  송세안 ,  김성근

Applied Science and Convergence Technology

1992 .06

Preparation of SiO₂Thin Film at Extremely Low Pressure Using Chemical Vapor Deposition

김무열 ,  김도현 ,  이종호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

김호준 ,  이승무 ,  원제형

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02