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Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
P - xylene precursor를 사용하여 PECVD로 증착한 저유전상수 polymer와 금속 (Cu, Ti, Ta)의 계면반응에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
PECVD로 증착한 Plasma Polymerized para - Xylene (PPpX) 보호막을 이용한 유기 발광 소자의 수명 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Sb 도핑된 anatase 및 rutile TiO2-δ 박막의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
산소결핍을 포함하는 SrTiO3 박막의 전기적특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2012 .05
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 - NH₂ 밀도와 증착변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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