PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화

오성재; 홍원의; 노재상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 오성재 홍원의 노재상

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집

발행연도: 2006.2

수록면: 176 - 176 (1page)

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오성재

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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소속기관 홍익대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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노재상

소속기관 홍익대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-017336487

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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