실리콘 박막의 고온고상 결정화

김윤수; 임정윤; 노재상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김윤수 (홍익대학교) 임정윤 (홍익대학교) 노재상 (홍익대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 163 - 163 (1page)

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