PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser 결정화

고무순 ,  정희석 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser Crystallization

김은석 ,  박도영 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석

이성현 ,  윤선진 ,  김제하 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구

이용수 ,  성호근

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화

오성재 ,  홍원의 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구

정지용 ,  이용달 ,  방경윤 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

3D 패턴 유리기판을 사용한 비정질 실리콘 박막 태양전지의 효율 향상 연구

손찬희 ,  김경민 ,  김재호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

비정질 실리콘 박막의 2차 전자 방출계수 γ 의 특성 분석

Sung-Chae Yang ,  Byung-Yoon Chu ,  Jung-Hui Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

플라스틱 기판 위의 MgO박막 증착 및 특성 분석

조정민 ,  최운섭 ,  김장우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Si기판 위에 증착 된 Co 박막 계면의 자기적 특성 연구

조창우 ,  박수환 ,  배종성 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2012 .05

RF magnetron sputtering으로 증착한 비정질 InGaZnO 박막의 광학적, 전기적 특성

김상훈 ,  박용헌 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Ce Target을 사용한 Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 Si(100) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성

이원정 ,  안경준 ,  여환욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

PECVD 를 이용한 비정질 실리콘 박막의 Adhesion 개선에 관한 연구

한영재 ,  최영철 ,  김민

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김진모 ,  김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

PC 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성

조범진 ,  금민종 ,  김경환

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화

이기홍 ,  조만호 ,  이덕형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

PC기판위에 증착된 금속박막을 이용한 전자파 차폐 특성 연구

이웅재 ,  한성 ,  이철수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Si(100)기판 위에 증착된 CeO₂(200)박막과 CeO₂(111)박막의 전기적 특성 비교

이헌정 ,  김진모 ,  김이준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

증착조건에 따른 비정질 박막 트랜지터의 특성

우재익 ,  정유찬 ,  황성연 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02