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학술대회자료
저자정보
공대영 (성균관대학교) 박승만 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
305 - 305 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 가스비 가변에 따른 효과
공대영 ,  박승만 ,  이준신 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
공대영 ,  권태영 ,  박형식 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

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