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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제5회 학술발표회논문개요집
발행연도
1993.7
수록면
96 - 97 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1993

입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
조용범 ,  이경우 ,  천희곤 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 1993.07 학술대회자료
입체표면 폴리실리콘 전극에서 PECVD Ta₂O5 유전박막의 전기적 특성
조용범 ,  이경우 ,  천희곤 외 5명 Applied Science and Convergence Technology 1993.06 학술저널

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목차

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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