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Ultra low - k 값을 갖는 저유전상수 물질의 PECVD증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
PECVD를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 cyclohexane 박막의 특성과 C - H 양과의 관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
플라즈마 중합된 저유전상수 para - xylene 박막의 H₂+He 플라즈마 처리에 의한 유전 및 열 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Hexamethyldisiloxane과 Neohexane 단량체를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 갖는 박막의 증착파워 변화에 따른 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
XPS를 이용한 Cu / TiN의 계면에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .11
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Co / Ti 다층 박막 구조 시스템에서의 계면 반응
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
PECVD로 증착한 Plasma Polymerized para - Xylene (PPpX) 보호막을 이용한 유기 발광 소자의 수명 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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