원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일

김창목 ,  임노민 ,  이현우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구

김교운 ,  오지수 ,  김희주 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Reactive Ion Etching with High Density Plasma for Two-Step Texturing

여인환 ,  박주억 ,  김준희 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

고종횡비 식각 공정에서 Edge Ring에 의한 이온 Tilting 모사 및 식각 Profile 분석 연구

Min Young Yoon ,  Hee Jung Yeom ,  Jong-Ryul Jeong 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석

이영석 ,  김시준 ,  조철희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각

정지원 ,  박익현 ,  박왕현 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

Pt 박막의 반응성 이온식각

양정승 ,  김민홍 ,  윤의준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

다양한 etch gas를 이용한 자성 박막의 식각특성 분석

이호석 ,  양경채 ,  박성우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

식각 용기 가열에 의한 라디칼 손실 제어가 고선택비 산화막 식각에 미치는 영향

김정훈 ,  이호준 ,  주정훈 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .06

TCP 장치에서 Cl₂ / He / HBr을 이용한 Poly - Si 건식식각시 발생하는 진행성 etch rate 감소 현상 연구

김용진 ,  이세형 ,  정홍식 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출

Zhao ShuKun ,  김민우 ,  한이슬 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Ar/C_xF_2xO(X=3,6) 혼합가스를 이용한 친환경 SiO₂ 식각 연구

성익찬 ,  탁현우 ,  성다인 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석

강동균 ,  박현정 ,  최동진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Ar/C₄F₆/O₂Pulsedtriplefrequency의 식각 메커니즘 분석

김수강 ,  양경채 ,  신예지 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

LCD 공정용 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구

전성찬 ,  공대영 ,  표대승 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2012 .07

박막자기헤드 제조시 이온 빔 식각에 관한 연구

최희석 ,  윤승훈 ,  박덕영 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1994 .04

ECR 플라즈마의 식각 공정변수에 관한 연구

안무선 ,  지철묵 ,  김영진 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02