박막 헤드 제조를 위한 Titanium 금속 mask의 반응성 이온 식각에 관한 연구

윤승훈 ,  최희석 ,  박덕영 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1995 .05

Pt 박막의 반응성 이온식각

양정승 ,  김민홍 ,  윤의준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

플라즈마 이온 식각공정에서의 미세 식각 형상에 관한 이론적 연구

박상규 ,  이창덕

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

ETCHING CHARACTERISTICS OF MAGNETIC THIN FILMS BY ION BEAM TECHNIQUE

H. C. Lee ,  S. D. Kim ,  S. H. Lim 외 3명

한국자기학회지

1995 .10

Reactive Ion Etching with High Density Plasma for Two-Step Texturing

여인환 ,  박주억 ,  김준희 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

박막자기헤드 제조시 상부 자성층 식각법

최희석 ,  윤승훈 ,  박덕영 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1995 .05

산소 이온 빔에 의한 산화 알루미늄 박막의 식각 효과 및 정전 용량 특성에 관한 연구

조의식 ,  권상직

Applied Science and Convergence Technology

2013 .01

박막 자기 헤드의 747 곡선 시뮬레이션

서정교 ,  조순철 ,  김용수 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1996 .11

ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일

김창목 ,  임노민 ,  이현우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

퍼말로이 박막의 반응성 이온 에칭에 관한 연구

김성동 ,  이정중 ,  임상호 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1997 .11

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

RIE 에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 연구

양정승 ,  윤의준

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

다양한 etch gas를 이용한 자성 박막의 식각특성 분석

이호석 ,  양경채 ,  박성우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

IGZO 박막 표면의 수소 이온 빔 처리 효과

이승수 ,  민관식 ,  윤주영 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

LCD 공정용 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구

전성찬 ,  공대영 ,  표대승 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2012 .07

고종횡비 식각 공정에서 Edge Ring에 의한 이온 Tilting 모사 및 식각 Profile 분석 연구

Min Young Yoon ,  Hee Jung Yeom ,  Jong-Ryul Jeong 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Cl₂/Ar를 이용한 Cr 박막의 반응성 이온 식각

이서영 ,  장성준 ,  배시영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

고밀도 반응성 이온 식각을 이용한 IrMn 자성 박막의 식각

이태영 ,  소우빈 ,  김은호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

고에너지 이온선을 이용한 분석 기술

김효배 ,  송종한 ,  김희중

한국자기학회지

1996 .04