MPECVD법에 의한 단결정 다이아몬드 박막 성장

구자춘; 신승도; 김형준; 황기웅

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저자정보: 구자춘 신승도 김형준 황기웅

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제6회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1994.2

수록면: 137 - 138 (2page)

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