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1. 서론
2. 실험 및 측정
3. 결과 및 고찰
4. 참고문헌
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[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 Al doped ZnO 박막의 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO₃ 박막의 계면 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 Ga-doped ZnO 박막의 공정압력에 따른 전기적, 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2012 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Al 도핑된 ZnO 투명 전도 산화막의 Ar 유량에 따른 특성
Applied Science and Convergence Technology
2010 .05
버퍼 층을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 Al:ZnO 박막의 성장
Applied Science and Convergence Technology
2009 .05
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 대면적 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막제조 및 물리적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2013 .05
폴리머 애자의 자기세정 응용을 위한 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 증착되어진 TiOx 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
마그네트론 스퍼터링을 이용한 Al과 Al-Si 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
마그네트론 스퍼터링 타겟 표면의 온도 변화에 대한 수치 모델과 측정 비교 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 광학용 TiNx 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
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