Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

The formation of dense Si nanocrystals in Si/Si₃N₄ superlattices by the ultra high vacuum ion beam sputtering deposition

Se-Young Seo ,  In Yong Kim ,  Young Heon Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Photoluminescence properties by control of the oxygen content and thickness in SiOx / SiO₂superlattices prepared by ion beam sputtering

Moon-Seung Yang ,  Ji-Hong Jhe ,  Jung H. Shin 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

SiO₂/Si₃N₄/SiO₂와 Si₃N₄/SiO₂/Si₃N₄ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구

이동욱 ,  김선필 ,  한동석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Visible photoluminescence from nanocrystal - Si in SiNx thin films grown by ion beam sputtering

Moon-Seung Yang ,  Jung H. Shin ,  Kyung Joong Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition을 이용한 SiOx 박막 형성

김가영 ,  박재범 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

이온빔 스퍼터링을 이용해 제작한 SiO₂/Zr dots/SiO₂ 구조의 비휘발성 메모리 특성

홍승휘 ,  김민철 ,  최석호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

에싱 처리 효과가 비휘발성 메모리 소자의 메모리 저장에 주는 영향

양희연 ,  손동익 ,  이세한 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

SiO₂/Si3N₄ 적층 터널링 산화막을 이용한 Nano Floating Gate 비휘발성 메모리 소자의 특성 개선

조원주 ,  정종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Up-conversion luminescence properties depending on Yb³⁺ concentrations of NaYF₄ nanocrystals

Jong Won Chung ,  Ge ,  elkhuu Zayakhuu 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2015 .05

Electromagnetic Characteristics and Microwave Magnetism of Fe₄₆CO₄₄B₁₀SiO₂ Nano-multilayers

Deng Lianwen ,  Chen Hongfei ,  Zhou Kesheng 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

SiOx / (FePt, CoPt) / SiOx / Al 다층 박막의 극 Kerr 효과 수치해석

서동우 ,  박용우 ,  류호준 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .06

Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Microstructure and Properties of Er - SiOX Films Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Gao Song Duan ,  Shu Qing Zheng ,  Xiao Juan Zhang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

텅스텐 이황화물 나노복합체 기반 비휘발성 메모리 소자의 전자수송 메커니즘

이강민 ,  이정헌 ,  김태환

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Co / Si 와 Co / SiO₂ 다층막의 자기적 성질

임은식 ,  최옥식 ,  김택기 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Modified physical properties by ion - beam mixing of Fe / Si multilayers films

박주상 ,  이영백 ,  Y. V. Kud 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07