지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
[참고 문헌]
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
DC 마그네트론 스퍼터링으로 플리머 기판에 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Ti 박막의 광학적 성질 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
r.f. 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 SrBi₂Ta₂O9 박막의 후열처리에 의한 배향 성장 및 강유전 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 TaN 박막의 특성 및 신뢰성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 미세구조 및 우선 배향성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 다층구조의 마그네타이트 에피 박막성장의 최적화에 대한 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
R-plane (1102) 사파이어 기판위에 rf-마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 고품위 non-polar 산화아연 박막
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
비대칭 마그네트론 스퍼터링방법을 이용한 초미세 탄소 박막 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
0