R-plane (1102) 사파이어 기판위에 rf-마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 고품위 non-polar 산화아연 박막

황대규; 오민석; 최용석; 조주영; 박성주

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저자정보: 황대규 (광주과학기술원) 오민석 (광주과학기술원) 최용석 (광주과학기술원) 조주영 (광주과학기술원) 박성주 (광주과학기술원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 273 - 273 (1page)

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2008

R-plane (1102) 사파이어 기판위에 rf-마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 고품위 non-polar 산화아연 박막

황대규 , 오민석 , 최용석 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2007

rf-마그네트론 스퍼터링 성장압력이 인이 도핑된 p형 산화아연 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성에 미치는 영향

황대규 , 오민석 , 최용석 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

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논문수 25 이용수 694

조주영

소속기관 광주과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 181

박성주

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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