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증착 온도가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 ZnO : Al 박막의 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 미세구조 및 우선 배향성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
스퍼터링 방법에 의하여 형성된 도핑된 박막의 Al- ZnO 전기적 특성과 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
이온 빔 스퍼터링 방법으로 제작한 Mo 박막의 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO / Si(111) 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Pulsed Laser Deposition 법을 이용한 ZnO 박막의 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
이온빔 스퍼터링과 열처리를 이용해 제작한 Ge 나노결정/SiO₂ 다층박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
ZnO Buffer Layer에 의한 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
스퍼터링 방법에 의하여 p-형 Si 기판위에 형성된 높은 투명성과 전도성을 가진 Al-도핑된 ZnO 박막
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
ALD로 성장된 ZnO박막에 대한 질소이온 조사효과
Applied Science and Convergence Technology
2009 .09
듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 Al doped ZnO 박막의 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
ZnO 박막을 이용한 SAW 필터의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
기판온도변화에 따른 ZnO : Al 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
저온프로세스를 이용한 Si1-xGex 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
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