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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.9
- 수록면
- 384 - 389 (6page)
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ZnO는 육방정계결정구조의 물질로서 3.37 eV의 넓은 띠 간격과 60 meV의 큰 exciton 결합에너지에 따른 높은 효율의 자외선발광으로 짧은 파장의 빛 (녹, 청, 자외선)을 내는 LED (Light Emitting Diode) 분야에서 관심을 기울이고 있는 물질이다. LED제작을 위해서는 n형의 ZnO와 p형의 ZnO가 필요하지만 기본적으로 ZnO은 n형이므로 신뢰성 있는 p형 ZnO박막을 제작하기 위한 노력이 기울여지고 있다. 본 연구에서는 ALD (Atomic Layer Deposition)로 제작된 ZnO박막에 20 keV의 에너지를 갖는 질소이온을 10<SUP>13</SUP>∼10<SUP>15</SUP> ions/㎠로 조사한 후 Hall 효과 측정장치를 이용하여 질소이온 조사에 따른 전기적 특성변화를 조사하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (31)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Min Suk Oh / 2009 / / Advanced Functional Materials 19 : 726 ~ 732
2. [학술지(정기간행물)] - S. J. Lim / 2007 / / Applied Physics Letters 91 : 183517 ~ 183519
3. [학술지(정기간행물)] - H. C. Cheng / 2007 / / Applied Physics Letters 90 : 012113 ~ 012115
4. [학술지(정기간행물)] - E. Bellingeri / 2005 / / Applied Physics Letters 86 : 012109 ~ 012111
5. [학술지(정기간행물)] - Elvira M. C. Fortunato / 2004 / / Applied Physics Letters 85 : 2541 ~ 2543
2. [학술지(정기간행물)] - S. J. Lim / 2007 / / Applied Physics Letters 91 : 183517 ~ 183519
3. [학술지(정기간행물)] - H. C. Cheng / 2007 / / Applied Physics Letters 90 : 012113 ~ 012115
4. [학술지(정기간행물)] - E. Bellingeri / 2005 / / Applied Physics Letters 86 : 012109 ~ 012111
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