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ALD로 성장된 ZnO박막에 대한 질소이온 조사효과
Applied Science and Convergence Technology
2009 .09
Novel Zinc Precursors for ZnO Thin Film Deposition by ALD
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
ALD를 이용한 저온에서의 ZnO 박막 증착
Applied Science and Convergence Technology
2007 .05
Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Fabrication of ZnO inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
나노급 다이아몬드 파우더에 ALD로 제조된 ZnO 박막 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
MOCVD와 ALD 성장법을 이용한 ZnO film 및 nanowire 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
자기제한적 표면반응에 의한 ZnO 박막성장 및 기판온도에 따른 박막특성
Applied Science and Convergence Technology
2009 .07
나노급 다이아몬드 파우더에 ALD로 제조된 ZnO 박막 연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .11
MBE법에 의한 undoped ZnO/ZnO 박막 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
커버글라스 기판 위 ALD 성장시킨 TiO₂ 박막의 질화 과정에 따른 물리적 특성의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Pulsed Laser Deposition 법을 이용한 ZnO 박막의 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Conducting ZnO Thin Film Fabrication by UV-enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
ZnO 박막을 이용한 SAW 필터의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
In-Situ UV Illuminated Highly Conductive, Transparent ZnO Thin Film Electrodes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
ZnO Buffer Layer에 의한 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
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