새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장

조원태; 성기환; 이선숙; 안기석; 정택모; 김윤수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조원태 성기환 이선숙 안기석 정택모 김윤수

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제24회 학술발표회초록집

발행연도: 2003.2

수록면: 147 - 147 (1page)

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