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ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
원자층 증착법을 이용한 ZnO 트랜지스터
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
ALD로 성장된 ZnO박막에 대한 질소이온 조사효과
Applied Science and Convergence Technology
2009 .09
PC 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
원자층 증착법에 의한 구리 박막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Electrical and optical properties of Al-doped ZnO films by UV treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2010 .09
Power 및 temperature에 의한 증착률 변화와 Al-doped ZnO의 특성변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Pulsed Laser Deposition법으로 증착된 Al, Sb co-doped ZnO 박막의 산소분압에 따른 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
ALD를 이용한 저온에서의 ZnO 박막 증착
Applied Science and Convergence Technology
2007 .05
나노급 다이아몬드 파우더에 ALD로 제조된 ZnO 박막 연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .11
졸젤 및 원자층 증착법으로 성장된 ZnO seed 층이 ZnO 나노막대 성장에 미치는 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
원자층 증착기구(ALD)를 이용한 Zirconia / Titania 다층 박막의 Gate Oxide용 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Novel Zinc Precursors for ZnO Thin Film Deposition by ALD
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
MIM capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른 ALD - Al₂O₃ 박막 증착과 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
펄스레이저 증착법으로 성장된 ZnO / (0001)Al₂O₃ 박막의 광특성 및 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
폴리머 기판상의 Al-doped ZnO 박막의 두께에 따른 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
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