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전해도금을 이용한 초박형 실리콘 웨이퍼 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RAPID THERMAL PROCESS시 실리콘 웨이퍼 온도 분포와 열 응력 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
고저항 단결정 실리콘 웨이퍼를 이용한 태양전지 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
실리콘 박막을 이용한 가속도센서 제조기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
실리콘 나노 결정이 포함된 실리콘 질화물 박막의 광반응성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
실리콘 박막 태양전지 고 효율화 기술 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
대기압 플라즈마를 이용한 n-type 실리콘 웨이퍼 불순물 도핑 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
실리콘 박막의 고온고상 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
고효율화를 위한 박막 실리콘 태양전지의 최근 기술동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
비정질 실리콘 박막의 2차 전자 방출계수 γ 의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
Single Electron Transistor 제작용 실리콘박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
다결정 실리콘박막의 결정립성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
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