지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Three-Dimensional Particle-in-cell Simulation of Electron Cyclotron Resonance Plasma with Belt-type Magnet Assembly
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Effect of bounce resonance heating on Electron Energy Distribution Function in a small Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR - CVD) 방법을 이용한 multi - walled carbon nanotube의 저온 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Inductively Coupled Plasma의 Numerical Simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
ECR 플라즈마 장치의 제작
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Role of hydrogen plasma post-treatment : etching behavior of vertically aligned graphene nano walls by electron cyclotron resonance plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 Shallow Trench식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
High performance electrical double layer capacitor electrodes in graphene nano walls synthesized by electron cyclotron resonance plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Two - dimensional simulation of inductively coupled large - area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
하이퍼써멀 에너지 영역에서 높은 플럭스 입자빔 생성을 위한 플라즈마 발생원
Applied Science and Convergence Technology
2009 .05
Determination of major and minor components in metals by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS), laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS) and X-ray fluorescence spectrometry(XRF)
한국분석과학회 학술대회
2011 .05
Ferromagnetic Module을 적용한 내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) 소스의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Surface Roughness and Defect Morphology in Low Temperature Electron Cyclotron Resonance Hydrogen Plasma Cleaned (100) Silicon
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
ECR Plasma Deposition System의 제작과 특성 및 Plasma의 Diagnosis
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Inductively Coupled Plasma 방전의 Global Modelling 과 Simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
0