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전극 구조에 따른 대기압 플라즈마 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
대기압 멀티 플라즈마 소스의 균일한 방전에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
대기압 DC Arc Plasma를 이용한 Etching rate의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
대기압 멀티 플라즈마 소스제작 및 방전 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
대기압 멀티 플라즈마 젯 소스의 균일한 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
대기압 플라즈마를 이용한 보호 유리 표면 처리를 통한 태양광 발전 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
대기압 플라즈마 처리 후 폴리프로필렌의 표면에너지 변화 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
교류형 대기압 플라즈마를 이용한 PDMS 표면처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Sea water treatment test for ballast water by underwater plasma with capillary electrodes
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
대기압 플라즈마와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
대기압 플라즈마 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
상압에서 capacitively couple plasma type의 capillary electrode discharge를 이용한 glow discharge plasma의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
Research on analysis about property of atmospheric plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Remote Plasma를 이용한 실리콘 산화막에 대한 건식세정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
대기압 non-thermal 아크의 환경분야 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
캐패시턴스 측정을 통한 대기압 플라즈마 젯 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
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