고성능 주사탐침열현미경 열전탐침 제작

김동립; 김경태; 권오명; 박승호; 최영기; 이준식

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저자정보: 김동립 김경태 권오명 박승호 최영기 이준식

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제11호

발행연도: 2005.11

수록면: 1,503 - 1,508 (6page)

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고성능 주사탐침열현미경 열전탐침 제작

김동립 , 김경태 , 권오명 외 3명 대한기계학회 논문집 A권 2005.11 학술저널

고성능 주사탐침열현미경 열전탐침 제작

김동립 , 김경태 , 권오명 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료

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Scanning Thermal Microscope (SThM) has been known for its superior resolution for local temperature and thermal property measurement. However, commercially available SThM probe which is the key component of SThM does not provide resolution enough to explore nanoscale thermal phenomena. Here, we developed a SThM probe fabrication process that can achieve spatial resolution around 50 ㎚. The batch-fabricated probe has a thermocouple junction located at the end of the tip. The size of the thermocouple junction is around 200 ㎚ and the distance of the junction from the very end of the tip is 150 ㎚. The probe is currently being used for nanoscale thermal probing of nano-material and nano device.

참고문헌 (7)

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Majumdar, A., 1999, “Scanning Thermal Microscopy,” Annual Review of Material Science, Vol. 29, pp. 505~585.

Shi, L., O. Kwon, Miner, A. C. and Majumdar, A., 2001, “Design and Batch Fabrication of Probes for Sub-100 nm Scanning Thermal Microscopy,” ,Journal of MEMS, Vol. 10, No. 3, pp. 370~378.

Hammiche, A., Reading, M., Pollock, H. M., Song, M. and Hourston, D. J., 1996, “Localized Thermal Aanalysis Using a Miniaturized Resistive Probe,” Rev. Sci. Instrum, Vol. 67, No. 12 pp. 4268~4274.

Shi, L. and Majumdar, A., 2002, “Thermal Transport Mechanisms at Nanoscale Point Contacts,” ,Journal of Heat Transfer, Vol. 124, pp. 329~337.

Hee Hwan Roh et al., 2004, “Development of Nanoscale Thermal Property Measurement Technique Using AC Heating and Temperature Monitoring of Nano Thermocouple Junction of Scanning Thermal Microscope Probe,” Proceeding of the 13th KIEE MEMS Symposium, Vol. 7

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