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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
39 - 46 (8page)

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2008

주사탐침열현미경의 감도향상을 위한 전체 실리콘 산화막 열전탐침의 열적설계 및 일괄제작
정승필 ,  김경태 ,  원종보 외 4명 대한기계학회 논문집 B권 2008.10 학술저널

2007

주사탐침열현미경의 감도향상을 위한 전체 옥사이드 열전탐침의 열적설계 및 일괄제작
정승필 ,  김경태 ,  원종보 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Scanning Thermal Microscope (SThM) is the tool that can image temperature and thermal property distribution with the highest spatial resolution. Until now the SThM probe fabricated by Shi et al. has been reported to have the highest spatial resolution and the best sensitivity. They demonstrated that the spatial resolution of this probe is less than 100 ㎚ by mapping out the temperature distribution. And we reported the 2ω imaging technique that can map out the local thermal property distribution using a similar SThM probe. But the design of these SThM probes still has much room for sensitivity improvement. In order to improve the sensitivity, we fabricated the full silicon dioxide SThM probe, heightened the tip up to 12 ㎛ and designed the reflector of the probe so that the heating of the thermocouple junction by feedback laser is minimized. The sensitivity of this SThM probe was about 2 times higher than that of the previous one. And the influence of the feedback laser was negligible.
#Scanning Thermal Microscope: SThM(주사탐침열현미경) #열저항 탐침(Thermoresistive Probe) #열전 탐침(Thermoelectric Probe)

목차

Abstract
1. 서론 및 연구 배경
2. 열적설계
3. 탐침 제작 공정
4. 열전 탐침의 성능 및 특성 실험
5. 결론
6. 후기
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