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페리마그넷(Ferrimagnetic) Y₃Fe_5O₁₂ (Garnet) 박막 또는 후막은 초고주파 대역에서 사용하는 통신부품의 소자로서 핵심 역할을 하고 있다. 본 연구에서는 요즘 신기술로 소개된 펄스 레이저 증착기술(Lser Ablation Technique)에 의하여 가넷의 표준조성인 Y₃Fe_5O₁₂ 후막을 에피성장 시키는데 성공하였다. KrF 가스를 사용한 Eximer 레이저를 10 ㎐의 펄스주파수로 Al₂O₃(1102) 면에서 거의 집합조직의 에피후막을 성장시켰다. 후막의 자기특성 및 성장 양상은 사용한 기판 및 기판온도와 산소분압에 따라 결정되지만 본 연구에서 얻어진 최적의 자기특성은 가넷두께 4.1㎛에서 4πMs=1300 Gauss, Hc=37.5 Oe 의 값을 산소분압100 mTorr 및 기판온도 600℃에서 증착한 후 700℃에서 2시간 소둔처리하여 최적값을 얻을 수가 있었다. 이러한 가넷후막은 협대역 주파수 범위에서 Magnetostatic Spin Wave 원리를 이용한 Filter로 사용 가능하다.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and Discussion
References
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