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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제6권 제4호
발행연도
1996.8
수록면
242 - 250 (9page)

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RF-마그네트론 스퍼터법으로 제조된 400 Å의 Ni_(81)Fe_(19) 박막을 자장중에서 열처리할 때 박막의 미세구조 및 표면형상의 변화에 따른 전자기적 특성을 조사하였다. 보자력은 열처리 온도가 300 ℃까지 증가함에 따라 박막내부잔류응력의 감소 및 재결정에 의해 감소하였고, 400 ℃에서는 결정립성장 및 표면조도의 증가에 의해 증가하였다. 4πMs는 열처리 온도에 따라 큰 변화를 보이지 않고, 9.2 kG 수준의 거의 일정한 값을 보였다. 열처리 온도가 증가함에 따라 전기비저항은 37 μΩ㎝에서 24 μΩ㎝로 감소하였으며, 자기저항값은 0.6 μΩ㎝ 수준으로 거의 일정한 값을 보였고, 자기저항비는 1.5 %에서 3.1 %로 증가 하였다. 따라서 자기저항비의 증가는 주로 전기비저항의 감소에 기인한 것으로 나타났다. 이상에서 박막을 실제적인 자기저항 헤드에 응용을 고려시, 최적 열처리조건은 400 Oe의 일방향 자장중 300 ℃에서 1시간 열처리할 때로 나타났다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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