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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제7권 제2호
발행연도
1997.4
수록면
82 - 89 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

기저층 및 열처리 효과가 Co / Cu 다층박막의 자기저항에 미치는 영향
김미양 ,  최규리 ,  최수정 외 6명 한국자기학회지 1997.04 학술저널

1995

Co / Cu 다층박막의 자기저항 효과에 관한 연구
김미양 ,  최수정 ,  최규리 외 7명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 1995.11 학술대회자료

초록· 키워드

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DC magnetron sputtering 방법에 의해 Corning glass 위에 기저층인 Fe와 Cu의 두께를 다르게 하면서 buffer/[Co(17Å)/Cu(tÅ)]_N의 형태로 다층박막을 제작하여 자기저항비의 비자성층 Cu 층 두께, 기저층 종류와 두께, 다층박막의 층 수 의존성을 조사하였다. 제작된 시료를 500℃ 까지의 열처리를 행한 후 열처리가 이 시료의 구조, 자기적 성질 및 자기저항에 미치는 영향을 조사하기 위하여 X-선 회절분석, 시료진동형자기계 (VSM) 분석, 자기저항 측정을 하였다. Fe 기저층의 두께가 50Å이고 Cu 두께가 24Å일때 극대 자기저항비 21%가 관찰되었다. 낮은 base 압력 중에서 막의 증착은 산화를 억제하여 자기저항비를 증가시켰다. 400℃ 까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한채 더 큰 grain size를 갖게 하여 극대 자기저항비를 나타내는 Cu 두께를 갖는 시료들은 열처리 후 반강자성적으로 결합한 막의 부분이 증가함으로써 자기저항비가 증가하다가 500℃에서는 계면의 확산에 의해 감소하였다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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