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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제3호
발행연도
1996.9
수록면
258 - 262 (5page)

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d.c. magnetron sputtering 방법으로 제작된 Fe/[NiFe/Cu] 다층박막을 Fe 기저층의 두께, 적층횟수 및 열처리 온도 변화에 따라 자기저항비가 계면 거칠기 및 우선 배향에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. Fe 기저층의 두께가 증가함에 따라(200) 우선배향의 세기가 증가하였으며, 자기저항비는 Fe 70Å의 두께에서 최대 값 4.7%를 보이며 이 때 자장 감응도(field sensitivity)도 최대를 나타낸다. Fe 기저층의 두께를 70Å으로 고정 시키고 적층횟수를 변화시켰을 때 40층에서 최대값 5.3%를 보였다. 열처리 온도에 따른 자기저항비는 300℃ 이하에서는 커다란 변화가 없으며, 300℃ 이상에서는 크게 감소하였는데, 이는 Cu의 확산에 의한 상자성 혼합층의 증가와 반강자성적으로 결합된 자성층간의 배열의 변화가 그 원인이다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 실험 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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