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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제10권 제6호
발행연도
2000.12
수록면
280 - 284 (5page)

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RF-DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 5×10-³ Torr의 알곤 가스 분위기에서 [(300 ㎚)Ta/(500 ㎚)NdFeB/(300 ㎚)Ta] 영구자석 박막을 제조한 후 이의 미세구조 및 자기특성을 조사하였다. 650~750℃로 가열된 Si 기판위에 성막한 [Ta/NdFeB/Ta] 박막은 수직자기이방성과 함께 우수한 경자기특성을 나타내었으며, 특히 기판온도 650℃와 700℃에서 제조된 박막은 막면에 수직한 방향으로 각각 20 MGOe의 최대자기에너지적과 18.9 kOe의 큰 고유보자력을 나타내었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

참고문헌

Abstract

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