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대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 1998년도 하계학술발표회 논문집(Ⅲ)
발행연도
1998.6
수록면
1,556 - 1,561 (6page)

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Pumping performance of a disk-type molecular drag pump for a hybrid molecular pump is numerically analyzed by using the direct simulation Monte-Carlo method. The flows in pumping channels are three-dimensional(3D) in a molecular transition regime. The main difficulty in modeling a 3D case comes from the rotating frame of reference. Thus, trajectories of particles are no longer straight lines. In the present study, trajectories of particles are calculated by integrating a system of differential equations including the Coriolis and centrifugal forces. The null-collision technique with a variable soft sphere molecular model is used for calculation of molecular collisions. The present numerical results significantly disagree with the previously known ones. This is due to the fact that an actual pumping passage is very limited to a narrow region because of backstreaming of molecules from the outlet.

목차

Abstract

1. 서론

2. 수치해석방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

후기

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