지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.5
- 수록면
- 475 - 478 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (8)
2004
1999
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
We studied the effect of the type of non-thermal plasma on the decomposition of CF₄. 3 types of reactors were manufactured to generate different types of plasma respectively, and went into the experiments. As the results, we found that high density of the energy of non-thermal plasma and the minimization of non-discharged area should be met in order to elevate decomposition rate of CF₄. Among the reactors used in the study, the hole-type reactor was such one that satisfying that requirement. Using the hole-type reactor, treatment efficiency for high concentration of CF₄ was excellent.
We got decomposition rate of more than 95[%] between 500[ppm] around and less than 400[ppm], and up to 85[%] at 900[ppm].
We got decomposition rate of more than 95[%] between 500[ppm] around and less than 400[ppm], and up to 85[%] at 900[ppm].
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Structural Properties of Dielectric Barrier Reactor with Hole (DBH) for CF4 Decomposition
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
-
고온 유동 반응기를 이용한 CF₄ 분해 반응기구에 대한 선행 연구
KOSCO SYMPOSIUM 논문집
2015 .12
-
The atmospheric plasma reactor with water wall to decompose CF4
한국표면공학회지
2001 .10
-
아르곤과 혼합된 사불산화탄소 가스의 플라즈마 분해에 관한 공간 평균 시뮬레이션
조명·전기설비학회논문지
2018 .12
-
폴리비닐알코올 필름 표면특성에 있어 $CF_{4}$ 플라즈마 처리의 영향
한국섬유공학회지
2005 .01
-
비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
-
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
-
CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
-
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구
전기학회논문지
1987 .11
-
CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2002 .01
-
평판형 유도결합 플라즈마 장치의 CF₄ 방전에 대한 Global Simulation
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
-
Downstream 유도형 반응기의 제작 및 CF4 / O2 플라즈마를 이용한 a-Si : H의 식각 ( Fabrication of Downstream Inductively Coupled Reactor and Etching of a-Si : H Using CF4 / O2 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1992 .07
-
Decomposition Properties of Trifluoroiodomethane under Discharges and Interruptions
Journal of Electrical Engineering & Technology
2018 .11
-
고열전도 CF/Al 복합재료의 개발을 위한 일방향 CF 프리폼의 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
-
장르 기반 Collaborative Filtering 영화 추천
한국인터넷방송통신학회 논문지
2010 .01
-
A Study on the PEO-LiN$(SO_2CF_2CF_3)_2-SiO_2$ Composite Electrolyte
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
-
RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 CF₄ 및 N₂ Gas 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
-
에틸렌 처리를 위한 충진층 유전체배리어방전 플라즈마 반응기의 특성
공업화학
2015 .01
-
O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
가속열화된 CF-8M 및 CF-8A 주조 스테인리스강의 열취화 재료물성치 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-565-015538846