RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 CF₄ 및 N₂ Gas 영향에 관한 연구

홍주형 ,  신중욱 ,  김상식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

폴리비닐알코올 필름 표면특성에 있어 $CF_{4}$ 플라즈마 처리의 영향

이재호

한국섬유공학회지

2005 .01

아르곤과 혼합된 사불산화탄소 가스의 플라즈마 분해에 관한 공간 평균 시뮬레이션

김승겸 ,  서정현

조명·전기설비학회논문지

2018 .12

CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각

강필승 ,  김창일 ,  김상기

전기전자재료학회논문지

2002 .01

CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )

김성철 ,  황기웅 ,  이종덕 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구

황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구

黃琪雄 ,  金成哲 ,  徐龍雲

전기학회논문지

1987 .11

CF₄ 분해용 플라즈마 반응기의 방전 특성

박재윤 ,  정장근 ,  김종석 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2004 .05

Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술

정나겸 ,  김상준 ,  김훈식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향

김종석 ,  정장근 ,  박재윤 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

CF₄ Plasma Treatment를 이용한 고전압 GaN 쇼트키 배리어 다이오드의 개발

유지현 ,  윤창주 ,  장태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2016 .11

Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구

손의정 ,  윤용수 ,  김동현 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07

CLEAN ROOM의 설계

김문정

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1979 .09

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

장르 기반 Collaborative Filtering 영화 추천

황기태

한국인터넷방송통신학회 논문지

2010 .01

CLEAN ROOM 관리

정순봉

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1979 .09

A Study on the PEO-LiN$(SO_2CF_2CF_3)_2-SiO_2$ Composite Electrolyte

김종욱 ,  이재필 ,  박종완

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

주사 플라즈마 법(SPM)을 이용한 소수성 표면처리

김영기 ,  최병정 ,  양성채

전기전자재료학회논문지

2010 .01