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Copper 오염 최소화를 위한 Wafer Cleaning 공정 최적화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
반도체 습식 세정 장비에서 유동 현상 – 시뮬레이션을 중심으로
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2024 .05
구조화된 표면을 가진 패드를 적용한 세정공정에서의 세정 효율 향상을 위한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Fabrication and Performance Tests of an Ultrasonic Cleaning System for Solar-cell Wafers
한국생산제조학회지
2019 .08
웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
정밀단조를 위한 베벨기어 모델링 자동화 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
Design and Development of Multi-Cleaning Robots
Proceedings of The International Workshop on Future Technology
2017 .05
후판 면취가공에 대한 절삭가공 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Plasma-induced Hierarchical Structures for Continuous Oil Spill Clean-up
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
수중 세정용 클리닝 모듈 설계 및 실험
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
Realization of Wafer-scale 1T-MoS₂ Film using Cold-Plasma
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 클리닝 시스템 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
베벨기어 온간단조 공정설계에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
A Study on the Prediction of Pollutant Concentration in Clean Room for Energy-Efficient Ventilating System
AFORE
2021 .10
WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2015 .01
기능성 잉크를 사용하는 패턴 롤 세정장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
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