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학술저널
저자정보
Hyunse Kim (Korea Institute of Machinery and Materials) Euisu Lim (Korea Institute of Machinery and Materials) Yanglae Lee (Korea Institute of Machinery and Materials) Jong-Kweon Park (Korea Institute of Machinery and Materials)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.28 No.4
발행연도
2019.8
수록면
210 - 217 (8page)
DOI
10.7735/ksmte.2019.28.4.210

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In this study, a midsonic cleaning system for solar-cell wafers with a frequency of 750 kHz was designed and fabricated. Finite element analysis was used to design the system. The obtained peak admittance value was 750.0 kHz. Reflecting the analysis results, the system was fabricated and its admittance characteristic was measured. The measured data showed 753.1 kHz, a value that was consistent with the finite element method (FEM) result with 0.4% error. The acoustic pressure test was performed and the resulting pressures were found to range from 283% to 328%, with a standard deviations range from 36.8% to 39.2%. Then, the wafer damage test was performed, and no damage was observed. Finally, the particle-cleaning test was performed; when we applied 1100 W, 99.8% of particles were removed. These results indicate that the developed midsonic bath has the capability of cleaning effectively without inflicting wafer breakage.
#Ultrasonic #Wave #Finite element method (FEM) #Cleaning #Solar-cell wafer

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Fabrication of an Ultrasonic System
3. Experiments
4. Conclusion
References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
Luo, Y. / 2010 / Ultrasonic Bonding for Thermoplastic Microfluidic Devices without Energy Director / Microelectronic Engineering 87:2429~2436 google schola 장호수 / 2011 / 초음파 금속 용착기를 이용한 Cu 박판의 용착성 실험 / 한국생산제조학회지 20(5):570~575 dbpia Ng, S. H. / 2009 / Microfluidic Connectors by Ultrasonic Welding / Microelectronic Engineering 86(4-6):1354~1357 google schola 박성준 / 2004 / 초음파 진동을 이용한 세라믹 소재의 마이크로 홀 가공 / 한국생산제조학회지 13(2):104~111 dbpia Mekaru, H. / 2007 / Development of Ultrasonic Micro Hot Embossing Technology / Microelectronic Engineering 84(5-8):1282~1287 google schola

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