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자료유형
학술저널
저자정보
김종원 (한국기술교육대학교 기전융합공학과) 고진석 ([주]마이크로비전)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제16권 제1호
발행연도
2017.1
수록면
29 - 33 (5page)

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This paper presents a development of vision aligner with three channels for the wafer and plate bonding machine in manufacturing of LED. The developed vision aligner consists of three cameras and performs wafer alignment of rotation and translation, flipped wafer detection, and UV Tape detection on the target wafer and plate. Normally the process step of wafer bonding is not defined by standards in semiconductor's manufacturing which steps are used depends on the wafer types so, a lot of processing steps has many unexpected problems by the workers and environment of manufacturing such as the above mentioned. For the mass production, the machine operation related to production time and worker's safety so the operation process should be operated at one time with considering of unexpected problem. The developed system solved the 4 kinds of unexpected problems and it will apply on the massproduction environment.
#Vision Aligner #Wafer Aligner #Sapphire Wafer Bonding

목차

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H. Kim / 2006 / Algorithm for automatic alignment in 2D space by object transformation / Microelectronics Reliability 46:100~108 google schola H. Kim / 2007 / Iterative algorithm for automatic alignment by object transform 47:972~985 google schola 박홍래 / 2002 / 웨이퍼 정렬법과 정밀도 평가 / 제어.로봇.시스템학회 논문지 8(9):812~817 dbpia Nam-Hee Lee / 2009 / Pre-Alignment Using the Wafer Edge's Position Data / Proceedings of KIIS Spring Conference 19(1):303~305 dbpia 조태훈 / 2010 / 고차 다항식 변환 기반 카메라 캘리브레이션을 이용한 웨이퍼 Pre-Alignment 시스템 / 반도체디스플레이기술학회지 9(1):11~16 google schola

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