웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 5명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1994 .02

반도체 절단 공정의 웨이퍼 자동 정렬에 관한 연구

김형태 ,  송창섭 ,  양해정

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .12

하나의 웨이퍼 전체 영상을 이용한 웨이퍼 Pre-Alignment 시스템

구자명 ,  조태훈

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

고차 다항식 변환 기반 카메라 캘리브레이션을 이용한 웨이퍼 Pre-Alignment 시스템

이남희 ,  조태훈

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

축정렬(Alignment)종류 및 기술현황

이시연

열병합발전

2002 .01

웨이퍼 연삭가공에서 형상정밀도 향상을 위한 이론적 모델링에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  김도연 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

웨이퍼 연삭 가공 기술의 동향 및 가공 정밀도 향상에 관한 연구

안대균 ,  황징연 ,  이재석 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

웨이퍼 에지의 위치데이터를 이용한 Pre-Alignment

이남희 ,  조태훈

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2009 .04

웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 7명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1993 .05

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

웨이퍼두께 표준 개발

김재완 ,  엄태봉 ,  김종안 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01