웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 7명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1993 .05

웨이퍼 정렬법과 정밀도 평가

박홍래 ,  유준

제어로봇시스템학회 논문지

2002 .09

웨이퍼 스텝퍼에서의 기준정렬을 위한 2차원 버니어 패턴의 성능예측

이종현 ,  장원익 ,  최부연 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1994 .11

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

반도체 절단 공정의 웨이퍼 자동 정렬에 관한 연구

김형태 ,  송창섭 ,  양해정

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .12

하나의 웨이퍼 전체 영상을 이용한 웨이퍼 Pre-Alignment 시스템

구자명 ,  조태훈

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

G-선 웨이퍼 스테퍼를 이용한 레지스트 공정 연구 ( Positive Resist Processing Using a G-line Wafer Stepper )

이재신 ,  박종문 ,  최창억 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

고차 다항식 변환 기반 카메라 캘리브레이션을 이용한 웨이퍼 Pre-Alignment 시스템

이남희 ,  조태훈

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

실리콘 웨이퍼 공정스텝에서 FTIR에 의한 산소의 측정

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

축정렬(Alignment)종류 및 기술현황

이시연

열병합발전

2002 .01

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Linear stepper 형 surface motor의 구동 특성 예측과 과도특성 개선에 관한 연구

최진욱 ,  양선호 ,  박철우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08

Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements

C.-S. Kang ,  A. P. D ,  ija 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

인공위성용 통신안테나 레인지 정렬 측정

김지영 ,  윤용식 ,  최준민

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2007 .10

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03