레이저 미세가공용 자동초점장치를 이용한 오프라인 초점 오차보상에 관한 연구

김상인; 김호상

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김상인 김호상

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.6

발행연도: 2009.6

수록면: 50 - 58 (9page)

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Micro laser fabrication techniques can potentially be used for the manufacture of microstructures on the thin flat surfaces with large diameter that are frequently used in semiconductor industries. However, the large size of wafers can cause the degraded machining accuracy of the surface because it can be tilted or distorted by geometric errors of machines or the holding fixtures, etc. To overcome these errors the off-line focusing error compensation method is proposed. By using confocal autofocus system, the focusing error profile of machined surface is measured along the pre-determined path and can be compensated at the next machining process by making the corrected motion trajectories. The experimental results for silicon wafers and invar flat surfaces show that the proposed method can compensate the focusing error within the level of below 6.9 μm that is the depth of focus required for the laser micromachining process.

#Autofocus System(자동초점장치) #Off-line Focusing Error Compensation(오프라인 초점오차 보상) #Laser Micromachining(레이저 미세가공) #Confocal Theory(공초점 원리) #Error Compensation Table(오차보상테이블)

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