반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템

김영형 ,  박종익 ,  황영광 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2023 .11

정상 데이터 복원을 통한 영상 기반 반도체 웨이퍼 결함 검출 기법

박태경 ,  한승주 ,  홍제형

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Wafer Defect 밀도 기반 반도체 DIE 품질 예측 기법

김진탁 ,  백준걸

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발

이석희 ,  이상원

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

DBSCAN 알고리즘을 이용한 in-fab 공정의 반도체 웨이퍼 Grade 판정 시스템 개발

김도연 ,  김영준 ,  이채린 외 4명

Proceedings of KIIT Conference

2024 .05

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

An optimization model based on flexible lead times for semiconductor wafer fabrication

Sungwon Hong ,  Younsoo Lee ,  Kungsik Lee

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

Wafer Map defects patterns classification using neural networks

김희영 ,  경기룡

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

Wafer Pattern Recognition Using a 3D Image Processing Method in Semiconductor Manufacturing Process

송승환 ,  백준걸

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발

지연정 ,  박종익 ,  이용환 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06