메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김도연 (경기대학교) 김영준 (경기대학교) 이채린 (경기대학교) 조병천 (경기대학교) 양희연 (경기대학교) 지서영 (경기대학교) 이한용 (경기대학교)
저널정보
한국정보기술학회 Proceedings of KIIT Conference 한국정보기술학회 2024년도 하계종합학술대회 및 대학생논문경진대회
발행연도
2024.5
수록면
972 - 976 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
반도체 제조 in-fab 공정에 전반적으로 이루어지는 웨이퍼 결함의 신속하고 정밀한 검출은 기업의 손익에 큰 영향을 주고 있다. 외부 영향으로 인한 결함의 원인을 파악하기 위해 웨이퍼 맵 이미지를 CNN 모델을 사용하여 결함 유형을 분류한다. 하지만 다양한 이유로 웨이퍼 결함의 대다수가 분류되지 않아 데이터 불균형 문제가 나타난다. 본 논문에서는 이 문제를 해결하기 위해 기존에 분류되지않았던 웨이퍼 맵의 결함 이미지를 DBSCAN 알고리즘을 이용하여 기존 결함 유형과의 유사도를 판별하고 유효성 있는 유형으로 재구성하는 방식을 제안한다.
#semiconductor #in-fab #wafer #CNN #DBSCAN algorithm

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 웨이퍼 결함 탐지 방법론 선행연구
Ⅲ. 본론
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문과 함께 이용한 논문

고성능 반도체패키징을 위한 TGV 기술의 최근 동향
석범창 ,  정재필 대한용접·접합학회지 2024 .04
Si 증착 이후 형성된 게이트 산화막을 이용한 SiC MOSFET의 전기적 특성
조영훈 ,  강예환 ,  박창준 외 3명 전기전자학회논문지 2024 .03
다중 결함 인지 손실 함수 및 머신러닝 기반 웨이퍼 결함 종류 검파 기법 연구
최지환 ,  김미선 ,  이하림 한국통신학회 학술대회논문집 2022 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0