다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 클리닝 시스템 개발

박송희 ,  이용환 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .12

Copper 오염 최소화를 위한 Wafer Cleaning 공정 최적화

김서현 ,  홍진석 ,  전용명 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Fabrication and Performance Tests of an Ultrasonic Cleaning System for Solar-cell Wafers

Hyunse Kim ,  Euisu Lim ,  Yanglae Lee 외 2명

한국생산제조학회지

2019 .08

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술

정나겸 ,  김상준 ,  김훈식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발

권소영 ,  김영형 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .12

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발

강진수 ,  이창용 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

Design and Development of Multi-Cleaning Robots

Naveen Senniappan Ka ,  uppusamy ,  Miao Xu 외 1명

Proceedings of The International Workshop on Future Technology

2017 .05

웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구

지용경 ,  사이풀 ,  최성순 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Flow analysis for fan-in/fan-out wafer level package coating process

Junsoo Shin ,  Joo-Pyo Hong ,  Seungmo Kim

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07