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진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 클리닝 시스템 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
Fabrication and Performance Tests of an Ultrasonic Cleaning System for Solar-cell Wafers
한국생산제조학회지
2019 .08
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
LED 웨이퍼 JIG 제작을 위한 진공척 고정을 적용한 표준 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
웨이퍼 다이 시프트 비전 검사를 위한 스캐닝 시스템 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .04
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
3세대 반도체 웨이퍼 검사장비 Probe Station 핵심 부품 구조해석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Copper 오염 최소화를 위한 Wafer Cleaning 공정 최적화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
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