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대한전자공학회 전자공학회논문지-IE 전자공학회논문지 IE편 제43권 제3호
발행연도
2006.9
수록면
1 - 5 (5page)

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고상반응법을 이용하여 CaZrO₃ 습도센서를 제작하였으며 그의 감습특성에 대하여 연구하였다. 습도센서의 임피던스는 상대습도가 증가함에 따라 감소하며 감습도는 주파수에 의존하였다. 센서의 감습도는 열처리에 안정되고 흡습 탈습에 따른 히스테리시스 현상이 거의 나타나지 않았으며 전기전도 활성화에너지는 흡습에 따라 감소하였다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
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