버퍼 층의 in-situ 열처리를 통한 ZnO 박막의 구조적 특성 향상

박동준; 이정용; 박태은; 조형균

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박동준 이정용 박태은 조형균

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 136 - 136 (1page)

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